日本SMC 平稳出气阀XVD-维特锐集团股份有限公司上海分公司

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日本SMC 平稳出气阀XVD

产品时间：2024-11-15

阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
（阀芯）座部分采用间隙隔膜，微粒子数量大幅降低。
伴随主供气初期供气可进行流量调整。

产品介绍

日本SMC 平稳出气阀XVD

高真空元件

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铝制高真空L型阀 XL□

系列/CAD	动作方式	轴密封形式	阀形式	材质	法兰尺寸
XLA	气控	波纹管密封	单作用（N.C.）	阀体：　铝合金波纹管：　SUS316L	16～80
XLAV （带电磁阀）
XLC			双作用
XLCV （带电磁阀）
XLF		O形圈密封	单作用（N.C.）	阀体：　铝合金	16～160
XLFV （带电磁阀）
XLG			双作用		16～80
XLGV （带电磁阀）
XLD		波纹管・ O形圈密封	单作用（N.C.）	阀体：　铝合金波纹管：　SUS316L	25～80
XLDV （带电磁阀）
XLH	手动	波纹管密封	手动	阀体：　铝合金波纹管：　SUS316L	16～50
XLS	电磁式	波纹管压力平衡	单作用（N.C.）		16, 25
特长	抗氟腐蚀能力强。放出气体少。重金属污染少。

铝制快换接头装拆高真空L型阀 XLAQ·XLDQ

系列/CAD	动作方式	轴密封形式	阀形式	材质	法兰尺寸
XLAQ	气控	波纹管密封	单作用（N.C.）	阀体：　铝波纹管：　SUS316L	16～50
XLDQ	气控	波纹管密封 O形圈密封	单作用（N.C.）	阀体：　铝波纹管：　SUS316L	40,50
特长	快换接头装拆（无需工具）

不锈钢制高真空L型阀／直通阀 XM/XY

注）对直通型无尺寸16的阀。

系列/CAD （L型/直通型）	动作方式	轴密封方式	阀形式	材质	法兰尺寸
XMA/XYA	气控	波纹管密封	单作用（N.C.）	阀体：　 SCS13 　（相当SUS304）波纹管：　 SUS316L	16～80^注）
XMC/XYC		波纹管密封	双作用	阀体：　 SCS13 　（相当SUS304）波纹管：　 SUS316L	16～80^注）
XMD/XYD		波纹管 O型圈密封	单作用（N.C.）	阀体：　SCS13 　（相当SUS304）波纹管：　SUS316L	25～80
XMH/XYH	手动	波纹管密封	手动	阀体：　SCS13 　（相当SUS304）波纹管：　SUS316L	16～50^注）
特长	采用精密铸造一体化结构，无气体滞留。与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性（XM系列）

磁性开关 D

系列	磁性开关种类	内容
D Series	有触点的磁性开关	一般（通用型）
D Series	无触点的磁性开关	一般（通用型）

平稳出气阀 XVD

系列/CAD	阀形式	使用流体	配管连接方式	配管尺寸
XVD	常断（加压通/弹簧密封）	氮气、空气、惰性气体等	VCR^® Swagelok^®	1/4B
特长	阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。（阀芯）座部分采用间隙隔膜，微粒子数量大幅降低。伴随主供气初期供气可进行流量调整。

门阀 XGT

系列/CAD	使用压力范围（Pa）	使用流体	门尺寸（高×宽）（mm）	动作压力（MPa）
XGT	大气压～1×10^-6	惰性气体系的真空	32×222 46×236 50×336	0.45～0.6
特长	对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。

真空无杆气缸 CYV

系列/CAD	使用环境压力｛Pa （ABS）｝	缸径（mm）
CYV	大气～1.3×10^-4	15,32
特长	真空环境内（1.3×10^-4Pa）在搬运场合可以使用的气缸。

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